单晶硅烘箱的结构设计

在太阳能光伏产业中，单晶硅的质量直接关系到单晶硅的质量，合格的单晶硅烘箱可以生长出高质量的单晶硅，因此创造良好的单晶硅烘箱条件，在单晶硅加工过程中有着非常重要的因素。石墨是单晶生长的载体。CTLC单晶生长炉中石墨主要由高纯石墨和等静力石墨加工部件组成。

根据实际情况的要求，单晶硅烘箱大小是根据石英坩埚的直径大小来划分的，我国单晶硅烘箱大小从φ12”~φ28”有，一般来说，φ18”~φ22”都多。这里我们要讲的是被单晶炉系统称为单晶硅烘箱的单晶硅烘箱一般包括压力环、保温罩和3个保温罩、()3阀式石墨坩埚、坩埚托杆托盘、电极、坩埚、加热器、导向管、石墨螺栓、未来防止漏硅、炉底、金属电极、托杆均设置保护板和外壳。

在快速法生长单晶硅的过程中，温度场的温度分布决定了单晶硅生长的成功和单晶硅的质量。温度分布适宜的单晶硅烘箱，不仅生长的单晶硅光滑，而且质量高;如果单晶硅烘箱的温度分布不是很合理，在生长硅单晶的过程中容易产生各种缺陷，影响质量。在严重的情况下，晶体变化的现象不会生长单晶。因此，在硅单晶生长企业投资初期，一定要根据生长设备配置合理的单晶硅烘箱，这样才能保证生产出来的硅单晶质量。温度梯度通常用来描述硅内酯单晶生长过程中温度场的温度分布，其中固液界面处的温度梯度是关键的。

数值模拟的成本很低，利用计算机计算提供的详细数据来支持真实的(和昂贵的)实验。由于数值模拟提供了一个近似真实的过程，因此利用该技术可以很容易地判断任何类型的变化(几何尺寸、绝缘材料、加热器、周边环境等)对晶体质量的影响。采用数值模拟的方法可以获得廉价、完整、多方面的结晶过程细节，可用于预测晶体生长和改进晶体生长技术。例如，历史点缺陷和热应力细节的熔体流动可以可视化经验。因此，数值模拟是获得更高生产率和更好地满足市场对晶体直径和质量要求的佳途径。

面向过程的仿真软件FEMAG为用户提供了一个可以深入研究的数值工具，用户可以通过有效的计算机仿真来设计和优化工作流。通过对单晶炉单晶硅烘箱的模拟计算，优化了单晶炉的机械结构，并根据模拟结果在拉拔过程中设定了合理的理论拉拔曲线，在实际生产中可以完全长出合格的单晶硅棒。