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干货分享,一分钟带你了解多晶硅烘箱的工作原理和结构

干货分享,一分钟带你了解多晶硅烘箱的工作原理和结构

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  • 发布时间:2022-12-21
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干货分享,一分钟带你了解多晶硅烘箱的工作原理和结构

【概要描述】多晶硅烘箱的工作原理和结构是怎样的?下面我们大家一起来看看。多晶硅烤箱的工作原理有以下几点:1.箱体结构:设计完善,箱体采用数字加工型制作,操作方便,内胆采用SUS304不锈钢板,外壳采用A3板,更加美观。电路边门便于维护和保养,可以调节门的松动,一体式硅橡胶门密封保证了烤箱的密封性。

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  多晶硅烘箱的工作原理和结构是怎样的?下面我们大家一起来看看。

       多晶硅烤箱的工作原理有以下几点:

       1.箱体结构:设计完善,箱体采用数字加工型制作,操作方便,内胆采用SUS304不锈钢板,外壳采用A3板,更加美观。电路边门便于维护和保养,可以调节门的松动,一体式硅橡胶门密封保证了烤箱的密封性。

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  2.控制执行系统:温度控制器使用触摸键、数字LED显示屏、PID智能控制仪器和Pt100铂电阻温度传感器。

  3.系统保护:整个保护系统由过热保护和报警装置组成,以确保执行部件和测试部件的完整性。

  多晶硅烘箱的结构是怎样的?下面我们大家一起来看看。

  1.加热系统:优质镍铬合金不锈钢电加热式加热器。

  2.风量功能:手动或自动调节手柄、定时功能。

  3.循环系统:高温低噪音高质量电动机。多叶式离心风轮,*的风道设计,热效率高,温度均匀,温度恢复时间快。

  4.控制系统:采用进口先进温度控制仪表、PID调节、快速自调整、设置各种数字显示参数、先进DCS系统控制等。

  5.安全保护:热风循环烤箱有漏电、短路、过热、电机过热、过电流、防爆等多重保护。

  多晶硅烘箱的多晶硅材料是怎样的?下面我们大家一起来看看。目前国际上生产多晶硅的工艺是西门子法、硅法、流化床法的改进。其中,改进西门子法是目前多晶硅生产的主要工艺,其生产多晶硅的量占世界多晶硅生产总量的80%,这一过程中重要的设备是多晶硅烘箱,其还原功率超过整个多晶硅生产工艺总耗电量的60%。因此,通过对还原炉内流动结构的深入研究,开发低功耗新型还原炉具有重要的学术实用价值。

  在传统的多晶硅烘箱结构中,原料气体的进口和废气出口均匀分布在底盘上。该结构必须设置进气喷嘴,并且必须控制足够的进气流速,以实现对还原炉顶部区域混合的更新。这种结构的缺点是还炉顶部区域容易出现死区。由于顶部气体不能有效更新,顶部区域产生产生硅粉的局部高温区域。

  现有改进的多晶硅烘箱尾气出口在正常情况下均匀,现有解决了我局部温度高的问题,防止还原炉内产生硅粉,初步解决了还原功率消耗过大的问题。但是废气出口在顶部均匀的结构是恢复控制所必需的。改进后的多晶硅烘箱底盘电极排列成三个圆周,每一个圆周上的硅棒排列成正六边形,从中心向外有三对、三对、六对均匀分布的电极。新的多晶硅烘箱底盘在两个相邻电极之间的间隙为220毫米;是。相邻的三对硅棒分别形成正六边形,每对正六边形的中心分布着进气口,进气口总数为13个。在新型多晶硅还原炉中,混合物基本上沿硅条表面向上流动。因为离硅条表面越近,温度越高,密度越低。另外,多晶硅烘箱的轴向也有温差。由于这种温差,反应器在轴向上密度下降,多晶硅烘箱不同横截面平面上的密度分度差异,使得混合器从底盘进气口平流到顶部盘排出口。


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